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CVD-1700浮子混气系统
关 键 词:高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验、材料制备、纳米线生长、材料烧结
CVD-1700系统由SGL-1700真空管式炉,HQF-Ⅲ浮子混气系统,内置测温系统及真空系统等组成。此系统烧结温度可达1700℃;真空泵采用双极旋片真空泵,真空度可达到5x10-1Pa;可实现不同的1~3路气体混合;内置测温系统可实时监测反应管内的温度变化。
机器型号:CVD-1700
产品品牌:钜晶
产品净重:
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接受订制:可按要求定制
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CVD-1700系统由SGL-1700真空管式炉,HQF-Ⅲ浮子混气系统,内置测温系统及真空系统等组成。此系统烧结温度可达1700℃;真空泵采用双极旋片真空泵,真空度可达到5x10-1Pa;可实现不同的1~3路气体混合;内置测温系统可实时监测反应管内的温度变化。

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CVD-1700系统由SGL-1700真空管式炉,HQF-Ⅲ浮子混气系统,内置测温系统及真空系统等组成。此系统烧结温度可达1700℃;真空泵采用双极旋片真空泵,真空度可达到5x10-1Pa;可实现不同的1~3路气体混合;内置测温系统可实时监测反应管内的温度变化。

主要功能和特点:

1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,最高真空可达0.0001Pa

2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制;

3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。

4、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;管路采用Swagelok卡套连接,不漏气;

5、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠。

主要用途:

高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验,特别适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长、电池材料干燥烧结等场所。

主要技术参数:

SGL-1700真空管式炉

双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温;

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

加热元件采用进口优质U型硅钼棒,表面负荷高,大大提高了其使用寿命

电压

AC220V      50/60Hz

功率

6KW

炉管

采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂

尺寸:Φ40/60/80*/1000mm

4个氧化铝管堵

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等

加热系统

加热元件:6U型硅钼棒

加热区长度:280mm

恒温区长度:100mm

工作温度:≤1600

最高温度:1650

升温速率:≤10/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

50段升降温程序

测温元件:B型双铂铑热电偶

恒温精度:±1

HQF-Ⅲ混气系统

三路浮子流量计配置在移动工作台上,可以同时通入三路不同的气体

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用聚四氟乙烯软管,耐温耐腐

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

流量规格:0.3~3L/min

控制精度:±5%

低真空系统

采用双极旋片真空泵,真空度可达5x10-1 Torr

不锈钢充油真空压力表,良好的抗震性

内置测温系统

测温元件可从加热区边缘延伸至温区中心

法兰密封,保证炉管的密封性

测温元件:B型双铂铑热电偶

尺寸

高温炉:660*580*910mm

混气移动工作台:800*540*720mm

可选配件

HQZ混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,刚玉管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等。


上海钜晶精密仪器制造有限公司生产的实验电炉符合国家标准并通过欧盟CE安全认证,出厂前经过严格检测;秉持“全方位、高品质、快速度”的服务标准,以客户满意为目标,谨此公开承诺。
一、产品质量承诺:
1、产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。 2、所有产品均可通过权威的第三方检测机构检测;也可委托我方代为办理(检测机构:上海市计量局和华东国家计量测试中心),费用另计。
二、交货期承诺:
按合同约定执行;如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。
三、售后服务承诺:
1、免费送货上门服务;
2、免费安装调试服务:当您收到设备后,请注意检查外包装是否完好并通知我们,我们会安排专业人员上门免费安装、调试及培训,并指导操作人员如何保养和注意事项等,直至满意为止。
3、高效率服务:当设备不能正常使用时,请及时联系我们,我们会在10分钟内响应;2小时内提供应急解决方案;72小时内安排专业人员上门服务;
4、免费更换维修服务:本产品提供一年免费保修服务;
5、定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务;
6、免费更新服务:我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先;
7、保证配件供应:保证设备配件及配套产品的供应;
8、本服务承诺最终解释权归上海钜晶精密仪器制造有限公司所有。
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