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CVI-1700系统
关 键 词:CVI系统、化学气相沉积、扩散试验
CVI-1700系统由SGL-1700L真空管式炉,HQZ-Ⅳ混气系统,真空压强控制系统,尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵,真空度可达到7.5x10-1Torr;可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。
机器型号:CVI-1700
产品品牌:钜晶
产品净重:
发货周期:
接受订制:可按要求定制
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CVI-1700系统由SGL-1700L真空管式炉,HQZ-Ⅳ混气系统,真空压强控制系统,尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵,真空度可达到7.5x10-1Torr;可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。

售后服务

TEL: 021-51696069-8019

FAX: 021-51696069-8010

Email: service@siomm.com

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CVI-1700系统由SGL-1700L真空管式炉,HQZ-Ⅳ混气系统,真空压强控制系统,尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵,真空度可达到7.5x10-1Torr;可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。

主要技术参数:

SGL-1700L

真空管式炉

双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

加热元件采用优质U型硅钼棒,表面负荷高,大大提高了其使用寿命

机器电源

AC220V50/60Hz;额定功率6KW

炉管

采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂

尺寸:Φ80*/1000mm

刚玉支撑架,有效保证料件处于温区中心

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等

加热系统

加热元件:4U型硅钼棒

加热区长度:280mm

恒温区长度:100mm

工作温度:≤1600

升温速率:≤10/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

50段升降温程序

测温元件:B型双铂铑热电偶

恒温精度:±1

超温、断偶故障警报及断电保护

HQZ-

混气系统

高精度质量流量计通过数据接口连接电脑,配置软件实时人机交互界面

四通道质量流量控制,可同时通入四种不同气体

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

流量规格:0~30SLM

控制精度:±1.0F.S

真空系统

采用德国LABOPORT小型抗腐蚀隔膜真空泵,可用于腐蚀性气体和蒸汽介质

真空度可达7.5x10-1 Torr

可长时间连续工作,无须担心泵因过热保护而中止实验

可选配真空表,实现对真空及压力的调节控制

配置气体尾气处理系统

冷凝系统

采用低温恒温槽,最低温度可达-20

内置不锈钢真空冷凝灌,采用KF接头,清理收集方便

槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验


上海钜晶精密仪器制造有限公司生产的实验电炉符合国家标准并通过欧盟CE安全认证,出厂前经过严格检测;秉持“全方位、高品质、快速度”的服务标准,以客户满意为目标,谨此公开承诺。
一、产品质量承诺:
1、产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。 2、所有产品均可通过权威的第三方检测机构检测;也可委托我方代为办理(检测机构:上海市计量局和华东国家计量测试中心),费用另计。
二、交货期承诺:
按合同约定执行;如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。
三、售后服务承诺:
1、免费送货上门服务;
2、免费安装调试服务:当您收到设备后,请注意检查外包装是否完好并通知我们,我们会安排专业人员上门免费安装、调试及培训,并指导操作人员如何保养和注意事项等,直至满意为止。
3、高效率服务:当设备不能正常使用时,请及时联系我们,我们会在10分钟内响应;2小时内提供应急解决方案;72小时内安排专业人员上门服务;
4、免费更换维修服务:本产品提供一年免费保修服务;
5、定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务;
6、免费更新服务:我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先;
7、保证配件供应:保证设备配件及配套产品的供应;
8、本服务承诺最终解释权归上海钜晶精密仪器制造有限公司所有。
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