主要功能和特点: 1、PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等; 2、PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应; 3、借助射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜; 4、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,最高真空可达0.001Pa; 5、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制; 6、每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性; 7、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷; 8、管路采用Swagelok卡套连接,不漏气; 9、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠。 |
一、产品质量承诺:
1、产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。 2、所有产品均可通过权威的第三方检测机构检测;也可委托我方代为办理(检测机构:上海市计量局和华东国家计量测试中心),费用另计。
二、交货期承诺:
按合同约定执行;如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。
三、售后服务承诺:
1、免费送货上门服务;
2、免费安装调试服务:当您收到设备后,请注意检查外包装是否完好并通知我们,我们会安排专业人员上门免费安装、调试及培训,并指导操作人员如何保养和注意事项等,直至满意为止。
3、高效率服务:当设备不能正常使用时,请及时联系我们,我们会在10分钟内响应;2小时内提供应急解决方案;72小时内安排专业人员上门服务;
4、免费更换维修服务:本产品提供一年免费保修服务;
5、定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务;
6、免费更新服务:我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先;
7、保证配件供应:保证设备配件及配套产品的供应;
8、本服务承诺最终解释权归上海钜晶精密仪器制造有限公司所有。